Consistent Machine of Lithography Room

Equipos de proceso litográfico de semiconductores

La máquina consistente de la sala de litografía es una serie de líneas de producción especializadas en la fabricación de obleas semiconductoras. Proporciona a las fábricas de semiconductores soluciones rentables, de alto rendimiento y respetuosas con el medio ambiente. Mediante la fabricación de equipos modulares y una gestión de la producción totalmente automatizada y basada en datos, no sólo reduce las pérdidas debidas a errores humanos, sino que también aumenta significativamente la capacidad de producción con una mano de obra mínima. Además, reduce en gran medida el importante consumo de energía de la sala de fotolitografía, con lo que se alcanzan los objetivos de reducir los costes de producción y minimizar el impacto medioambiental.