Consistent Machine of Lithography Room

Equipos para el proceso litográfico de semiconductores

La máquina de sala de litografía unificada es una serie de líneas de producción especializadas en la fabricación de obleas semiconductoras. Ofrece a las fábricas de semiconductores soluciones rentables, de alto rendimiento y respetuosas con el medio ambiente. La fabricación modular de las líneas y la gestión de la producción totalmente automatizada y basada en datos no sólo reducen las pérdidas debidas a errores humanos, sino que también aumentan considerablemente la capacidad de producción con un mínimo de mano de obra. Además, se reduce considerablemente el considerable consumo de energía de la sala de fotolitografía, lo que disminuye los costes de producción y minimiza el impacto medioambiental.