Consistent Machine of Lithography Room

半導体リソグラフィ装置

リソグラフィ室の一貫した機械は、半導体ウェハー製造に特化した一連の生産ラインです。半導体工場にコスト効率、歩留まり、環境に優しいソリューションを提供します。モジュール化された装置製造と完全自動化されたデータ駆動型の生産管理により、人為的ミスによる損失を減らすだけでなく、最小限の人員で生産能力を大幅に向上させます。さらに、フォトリソグラフィ室での大幅なエネルギー消費を大幅に削減し、生産コストの削減と環境への影響の最小化という目標を達成します。