Consistent Machine of Lithography Room

Halbleiterlithographie-Prozessausrüstung

Die einheitliche Maschine des Lithographieraums ist eine Reihe von Produktionslinien, die auf die Herstellung von Halbleiterwafern spezialisiert sind. Sie bietet Halbleiterfabriken kosteneffiziente, ertragsstarke und umweltfreundliche Lösungen. Durch die modulare Fertigung der Anlagen und das vollautomatische, datengesteuerte Produktionsmanagement werden nicht nur Verluste durch menschliches Versagen reduziert, sondern auch die Produktionskapazität mit minimalem Personaleinsatz erheblich gesteigert. Darüber hinaus wird der beträchtliche Energieverbrauch im Fotolithografieraum erheblich reduziert, wodurch die Produktionskosten gesenkt und die Umweltbelastung minimiert wird.