VG-200 Series
Kapazitätsmanometer
HORIBA STEC, Co., Ltd.Die Druckmessung ist für die Herstellungsprozesse in praktisch jeder Industrie unerlässlich. Das VG-200 ist ein kapazitives Manometer, das den Druck einer Kammer und jeder im Fertigungsprozess verwendeten Leitung mit hoher Präzision messen kann. Es ist das weltweit kleinste Messgerät seiner Klasse und verfügt über eine Temperaturselbstregulierung und ein glattes Aluminiumgehäuse. Die geringere Größe bringt auch den zusätzlichen Vorteil einer einfacheren Wartung mit sich. Mit seiner originellen Elektrodenstruktur und Signalverarbeitung erreicht es trotz seiner kompakten Größe ein hohes Maß an Genauigkeit und Stabilität. Durch die Verwendung einer Ni-Legierung für die Membran im Sensorkörper kann er auch in rauen Umgebungen einen stabilen Ausgang liefern.