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エアベアリングを搭載したこの3次元座標測定機は、1立方デシメートルの測定容積が特徴です。超精密運動学と高精度測定システムの組み合わせにより、ナノメートル領域の測定不確かさを実現しています。この高分解能とリニアドライブの最適化された制御応答により、直径1ミリメートル以下のドリル穴を、わずかな触覚的な力を加えるだけで触覚的に測定することができます。
