M150 MEMS Analyzer

研究設備

M150は、微細構造の機械的特性を評価するためのMEMSアナライザです。シンプルなポイント・アンド・シュートのレーザー光学系を使用し、広帯域周波数スキャンとリアルタイムのフーリエ変換（FFT）により、微細構造の共振ピークを素早く得ることができます。M150は、直感的に操作できるように一から設計されており、最小限のトレーニングで測定ができる触覚インターフェースを採用しています。M150は、非接触光学測定により、MEMS開発に不可欠な装置です。